点击图片查看大图介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
最大显示流量：-100%FS～100%FS
显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s
标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ºC
工作湿度：0-100%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压
中压选项：2MPa
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40
* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及
供电电流需咨询我们
