点击图片查看大图介质种类：请参考左下方的介质指标
量程：0-100sccm 或 0-1000sccm 或 0-20slpm
量程比：0-100sccm为100:1 0-1000sccm和0-20slpm为200:1
最大可控流量：102%FS
精度：±（1.5% RD+0.5% FS）RD-读数 FS-满量程
温漂：±0.12%/℃ RD
重复性：±0.5% RD
零点漂移&满量程漂移：0.05% FS/年
预热时间：70ms
响应时间：100ms
标定工况：20℃，1个大气压
工作温度：0-50℃
工作湿度：<90%,无冷凝
标准最大工作压力：1MPa
标准极限耐压：1.2MPa
中压选项：2MPa
满量程压损：10mbar
数字输入/输出信号：RS-485
模拟输入/输出信号：0-5Vdc
供电电压：10-30Vdc
供电电流：200mA
材质：主体材质：316不锈钢
传感器：氮化硅
阀体材质：黄铜
密封材质：FKM (Viton)
外形尺寸：长宽高 = 63.5mm × 22.23mm × 66.54mm
过程连接：1/8英寸NPT内螺纹
安装尺寸：底部小孔用于设备安装与固定，螺纹尺寸M3
安装方式及方向：无要求，前后端亦无直管段要求
阀门状态：常闭
振动：20g; MIL-STD-883E, Method 2002.4
防护等级：IP40
认证：CE、RoHS、REACH、2004/108/EC、2006/95/EC
ALICAT 01系列质量流量控制器
